Détection de cycles de gravure en micro fabrication
Ce projet consiste à développer un système de détection de dépassement de seuil en temps réel. Il calcule ainsi la durée de chaque étape d’un cycle de gravure à partir d’un signal échantillonné. Le logiciel s’adapte à différentes recettes de micro-fabrication et enregistre les résultats pour une analyse ultérieure.
Pour réaliser ce système, nous avons notamment utilisé le logiciel LabVIEW. Ce qui nous a permis de le développer rapidement et efficacement. Grâce au module d’acquisition multifunction de National Instruments et aux drivers DAQmx. Nous avons pu intégrer facilement un algorithme de détection de dépassement de seuil. Permettant ainsi d’évaluer la durée des différentes étapes du cycle de gravure des gaufres de silicium dans le cadre d’un processus de micro-fabrication.
Mesure
Ici, c’est une mesure de tension qui est réalisée par un dispositif de mesure multifunction. Contrôlé à l’aide du pilote DAQmx utilisé à l’intérieur d’un programme sur-mesure en LabVIEW. Cet appareil étant lié directement à l’outil de gravure. Il est possible de suivre la progression des étapes du cycle à partir du signal échantillonné.
Algorithme
Un algorithme de détection de dépassement de seuil analyse en temps réel toutes les mesures recueillies. Il utilise également un seuil défini par l’utilisateur pour détecter la montée et la descente du signal électrique pendant la gravure. Lorsqu’une étape de gravure commence, le signal électrique dépasse ce seuil, ce qui permet de caractériser l’étape. Une fois détectée, la durée de l’étape est calculée et comparée aux valeurs limites de test pour vérifier sa conformité. Le système affiche les résultats de toutes les étapes détectées sur l’interface utilisateur, organisés pour faciliter la lecture. Enfin, il sauvegarde ainsi les données et résultats des différents cycles de gravure dans des fichiers de log au format TDMS.
Rappel des résultats
Le système de détection permet aussi de rappeler les données des tests déjà réalisés. Il réaffiche le profil de tensions et la durée des étapes de gravure. Le programme retrouve les résultats du cycle dans les fichiers de log. Puis relance l’analyse pour tout afficher sur l’interface utilisateur. Cette fonction facilite la consultation des anciens résultats sans utiliser d’autres logiciels comme Excel pour les visualiser.
En somme, l’application de détection des étapes de gravure a su offrir au client une option d’analyse automatisée de son processus de micro fabrication. L’interface utilisateur lui permet de visualiser en temps réel la progression de la gravure de chacune des gaufres de silicium. Tout en affichant la durée des différentes étapes détectées de façon automatique. Le programme offre aussi la possibilité à l’utilisateur de conserver un historique des gravures effectuées pour en revoir l’analyse ultérieurement. Toutes ces fonctionnalités sont regroupées en une seule et unique interface simple et facile d’utilisation, ce qui rend l’application très intuitive.
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